一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ΖηΟ/Al薄膜的方法

Method for preparing ZnO/Al film on solar cell without introduced electrode

Abstract

本发明属于新型透明导电材料领域,具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ΖηΟ/Al薄膜的方法。本发明的方法是以未引入电极的太阳能电池片为基片,清洗后送入磁控溅射反应室,以纯Al为靶材进行磁控溅射得到20-300mn厚的Al薄膜,然后将基片置于气相沉积室内同时通入氧气和携带有Zn(CH2CH3)2的氩气,沉积得到50〜600nm厚的ZnO薄膜,最后在氧气气氛下,于400-60CTC对载有ZnO和Al薄膜的基片退火处理,得到ZnO/Al薄膜。本发明的制备工艺简单,沉积过程易于控制,透明导电薄膜的均匀性好,光电性能优异,以此作为太阳能电池的背电极,替代传统的铝金属电极,进一步提高了太阳能电池的转化效率。

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle